
记者从湖北省科技厅获悉,近日,硅来半导体(武汉)有限公司(简称“硅来半导体”)碳化硅激光衬底装备基地已投用,首条碳化硅晶圆切割中试线投产,首批出口设备已发往马来西亚等海外市场。这台设备长度不到1.5米,切割良率超过99%。
碳化硅是第三代半导体材料,广泛用于新能源汽车、光伏等领域。碳化硅晶锭需要切割成薄薄的衬底片,才能进入后续的芯片制造环节。切割效率直接决定衬底片的产能和成本。长期以来,这一环节被国外企业垄断,一条设备线卖上亿元。对此,来自华中科技大学的硅来半导体团队看到了市场机会。
有了想法,2023年,团队租了场地开始研发,从样机试制到工艺验证,逐步打磨技术。期间,光谷企业帝尔激光也为公司提供了供应链、资金、场地等支持,帮助公司从技术验证快速过渡到量产交付。
今半岛股份科技有限公司年4月,硅来半导体开发的碳化硅晶圆切割设备在2026九峰山论坛发布,效率、品质都超过国外产品,价格却不到国外的十分之一,当天就有多家企业前来对接。目前,硅来半导体碳化硅激光衬底装备基地面积共2000平方米,月产能约50台设备,已服务多家碳化硅衬底头部厂商,订单排到年底。